概要 高速X射線管球的搭載，實現了高精度的測定。而且配合極微小準直器和光學變焦鏡頭可以實現極微小部分的測

定。更可以對有高低平面差異的樣品進行測定。

特長

1.搭載了75W高性能X射線管。

2.搭載標準的Φ50μm微小準直管（最小Φ15μm）。

3.容易對微小領域進行觀察。搭載了能4階段切換的可變焦距光學系統。

4.依據照明能很容易對以前觀察困難的樣品進行觀察。

5.搭載了防止有凹凸的樣品碰撞的傳感器。

6.搭載了焦點切換功能，能夠對有高度的樣品的低部分進行測定。

7.利用伺服馬達精確的驅動平臺。

8.運用激光聚焦功能簡單實現位置的調整。

射線源	空冷式小型X射線管
準直器	□型 0.025 x 0.2mm, 0.2 x 0.025mm ○型 0.05mm, 0.1mm, 0.2mmφ
樣品表示倍率（CRT上）	最大4倍可變焦距
樣品平臺	移動量：220（X）x 150（Y）x 150(Z)mm
焦距切換功能	3段切換：10mm, 40mm, 70mm
主要的應用	多層鍍膜：最大5層（各層最大10元素） 合金鍍膜：最大10元素