X射線熒光鍍層測厚儀，有著非破壞，非接觸，多層合金測量，高生產力，高再現性等優點，在質量

管理到不良品分析有著廣泛的應用。用于電子元器件，半導體，PCB，汽車零部件，功能性電鍍，

裝飾件，連接器等多個行業。主要特點樣品種類：鍍層、涂層、薄膜、液體(鍍液中的元素含量) 可

檢測元素范圍：Ti22 – U92 可同時測定5層/15種元素 精度高、穩定性好 強大的數據統計、處理

功能 測量范圍寬 NIST認證的標準片 全球服務及支持 

主要規格 規格描述 

X射線激發系統 垂直上照式X射線光學系統 

空冷式微聚焦型X射線管，Be窗 

標準靶材：Rh靶；任選靶材：W、Mo、Ag等 

功率：50W(4-50kV，0-1.0mA)－標準 

75W(4-50kV，0-1.5mA)－任選 

裝備有安全防射線光閘 

二次X射線濾光片：3個位置程控交換，多種材質、多種厚度的二次濾光片任選 

準直器程控交換系統 最多可同時裝配6種規格的準直器 

多種規格尺寸準直器任選： 

－圓形，如4、6、8、12、20 mil等 

－矩形，如1x2、2x2、0.5x10、1x10、2x10、4x16等 

測量斑點尺寸 在12.7mm聚焦距離時，最小測量斑點尺寸為：0.078 x 0.055 mm(使用

0.025 x 0.05 mm準直器) 

在12.7mm聚焦距離時，最大測量斑點尺寸為：0.38 x 0.42 mm(使用0.3mm準直器) 

樣品室 CMI900 CMI950 

－樣品室結構 開槽式樣品室 開閉式樣品室 

－最大樣品臺尺寸 610mm x 610mm 300mm x 300mm 

－XY軸程控移動范圍 標準：152.4 x 177.8mm 

還有5種規格任選 300mm x 300mm 

－Z軸程控移動高度 43.18mm XYZ程控時，152.4mm 

XY軸手動時，269.2mm 

－XYZ三軸控制方式 多種控制方式任選：XYZ三軸程序控制、XY軸手動控制和Z軸程序控制、XYZ三

軸手動控制 

－樣品觀察系統 高分辨彩色CCD觀察系統，標準放大倍數為30倍。50倍和100倍觀察系統任選。 

激光自動對焦功能 

可變焦距控制功能和固定焦距控制功能 

計算機系統配置 IBM計算機 

惠普或愛普生彩色噴墨打印機 

分析應用軟件 操作系統：Windows2000中文平臺 

分析軟件包：SmartLink FP軟件包 

－測厚范圍 可測定厚度范圍：取決于您的具體應用。 

－基本分析功能 采用基本參數法校正。牛津儀器將根據您的應用提供必要的校正用標準樣品。 

樣品種類：鍍層、涂層、薄膜、液體(鍍液中的元素含量) 

可檢測元素范圍：Ti22 – U92 

可同時測定5層/15種元素/共存元素校正 

貴金屬檢測，如Au karat評價 

材料和合金元素分析， 

材料鑒別和分類檢測 

液體樣品分析，如鍍液中的金屬元素含量 

多達4個樣品的光譜同時顯示和比較 

元素光譜定性分析 

－調整和校正功能 系統自動調整和校正功能，自動消除系統漂移 

－測量自動化功能 鼠標激活測量模式：“Point 和 Shoot” 

多點自動測量模式：隨機模式、線性模式、梯度模式、掃描模式、和重復測量模式 

測量位置預覽功能 

激光對焦和自動對焦功能 

－樣品臺程控功能 設定測量點 

連續多點測量 

測量位置預覽(圖表顯示) 

－統計計算功能 平均值、標準偏差、相對標準偏差、最大值、最小值、數據變動范圍、數據編號、

CP、CPK、控制上限圖、控制下限圖 

數據分組、X-bar/R圖表、直方圖 

數據庫存儲功能 

任選軟件：統計報告編輯器允許用戶自定義多媒體報告書 

－系統安全監測功能 Z軸保護傳感器 

樣品室門開閉傳感器