水汽捕集泵也稱為真空鍍膜冷凍機，POLYCOLD，快速循環水汽冷凍機，超低溫捕集泵，等

應用原理:

在使用油擴散泵的高真空環境中都存在著一定的殘余氣體，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點的蒸汽，但其抽除殘余

氣體的能力低，時間長，而且所有殘余氣體還是工件的污染源，從而使產品的產量和質量受到影響。深冷泵則是解決這類問

題的上佳選擇。

深冷泵的工作原理：將一個能到-120℃以下的制冷盤管，放置在真空室中或油擴散泵的泵口，通過其表面的低溫冷凝效應，

迅速捕集真空系統的殘余氣體。從而大大縮短抽真空的時間（可縮短60-90%的抽氣時間）、獲得潔凈的真空環境（真空度可

提高半個數量級，達到10-8 Torr、10-5 Pa)。

在實際應用當中，根據所放的位置不同可以分為兩類（見圖）：

1、水汽捕集器

它的制冷盤管經常被安裝在高閥與真空腔之間或真空腔內、卷繞鍍膜上下室內等部位。適用于塑料低溫鍍膜、卷繞鍍膜等被

鍍膜材料放氣量較大的場合。盤管需要有加熱除霜裝置，使盤管每次開門之前恢復到常溫，避免低溫盤管從大氣中吸收大量

的水汽而結霜，影響下次抽真空。

2、低溫冷阱

放在油擴散泵的泵口，高閥以下，它主要功能是防止油擴散泵返油，同時也可以加快抽速、提高真空度。由于系統處于真空

狀態，無需除霜裝置。

根據需要,二者可以分別安裝也可以同時安裝.

本公司研發生產的-135℃深冷水汽捕集泵，采用單臺壓縮機、自動復疊制冷方式、進口名牌壓縮機及制冷配件、環保混合型

制冷劑生產，替代液氮，節約成本。具有制冷速度快、效率高、溫度低、維護方便等特點，其性能指標在國內處于領先地

位，達到甚至超過國際先進水平。

主要的性能特點

1、快速吸附水、油蒸汽、可縮短排氣時間60-90%；

2、降溫迅速，3分鐘內制冷到-120℃，最低可到-150℃；

3、2分鐘熱氣除霜，迅速回溫，5分鐘可再降溫;

4、一臺設備可設計兩路負載輸出；

5、進口壓縮機，環保混合型制冷劑;

6、完善的自動化控制；

7、具有兩路負載入口和出口溫度顯示、本機溫 度顯示；

8、當待機溫度到達后有指示燈提示，可以開始制冷；

9、除霜溫度自由設定；

10、具有水溫溫度、排氣溫度顯示；

11、缺水、水溫過高報警；

12、壓縮機排氣過高、壓力過高保護；

13、電源斷電、缺相報警；

14、可本地、遠程控制自由轉換；

15、R232計算機數據接口，計算機可讀取溫度數據及控制。

型 號	AL232110	AL232111	AL232112	AL232113	AL232114	AL232115
壓縮機功率(KW)	2.8	4.6	6.3	8.5	10.1	12.3
工作溫度（℃）	-120℃至-150℃
抽氣速度（l/s）	30600	51000	73,000	101,000	153,000	250,000
制冷量（W）	300	500	1200	1800	2500	3500
冷凝管表面積(m2)	0.15	0.3	0.5	0.7	1.0	2. 0
冷凝管長度	8m,φ6mm	10m,φ10mm	12m,φ12mm	14m,φ16mm	24m,φ16mm	40m,φ16mm
預冷時間（min）	≤30	≤30	≤30	≤30	≤40	≤40
降溫時間（min）	≤5	≤5	≤5	≤5	≤6	≤7
除霜時間(min)	≤3	≤3	≤3	≤3	≤3	≤3
再降溫時間(min)	≤5	≤5	≤5	≤5	≤6	≤6
適用油擴散泵徑（mm）	≤300	≤500	≤800	≤1000	雙路輸出	雙路輸出
冷卻方式	風冷、水冷(t≤30℃)		水冷(t≤30℃)	水冷(t≤30℃)	水冷(t≤30℃)	水冷(t≤30℃)
適用腔體直徑（mm）	≤900		≤1300	≤1500	≤1700	≤2000